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　　扫描电子显微镜 扫描电子显微镜（scanning electron microscope）， 简称扫描电镜（SEM）。 是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。 它能产生样品表面的高分辨率图像， 且图像呈三维， 扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。 结构 扫描电子显微镜由三大部分组成： 真空系统， 电子束系统以及成像系统。 真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。 有机械泵、 油扩散泵以及涡轮分子泵三大类， 机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的 SEM 的真空要求， 但对于装配了场...

　　扫描电子显微镜 扫描电子显微镜（scanning electron microscope）， 简称扫描电镜（SEM）。 是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。 它能产生样品表面的高分辨率图像， 且图像呈三维， 扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。 结构 扫描电子显微镜由三大部分组成： 真空系统， 电子束系统以及成像系统。 真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。 有机械泵、 油扩散泵以及涡轮分子泵三大类， 机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的 SEM 的真空要求， 但对于装配了场致发射枪或六硼化镧枪的 SEM, 则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。 成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。 之所以要用真空， 主要基于以下两点原因： 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效， 所以除了在使用 SEM 时需要用真空以外， 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。