YYVIP易游扫描电镜的操作方法及实操详解终于来了！一文教你搞懂扫描电镜！

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　　它通过电子束在样品上进行逐点扫描，获得三维立体图像，图像观察视野大、景深长、富有立体感。而功能再强大的仪器，如果不能按照正确的方法去操作使用，也不能发挥出仪器的价值，甚至会损坏样品和仪器本身。

　　使用扫描电镜这样的高精密仪器，掌握正确的操作方法及良好的操作习惯意义非常重要，不仅是因为仪器价格昂贵，维修复杂，更是为了得到理想的试样图像及成分数据，本文就来介绍一下扫描电镜通用的操作方法以及一些注意事项，希望每个接触扫描电镜的科研人，或是仪器人都能掌握扫描电镜的操作的技巧，充分利用仪器的价值，实验和研发都能事半功倍！

　　②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右;

　　关闭扫描电镜加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA;

　　关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭;

　　关闭扫描电镜主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

　　要获得一张清晰的扫描电镜照片，必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。

　　消像散、对焦是扫描电镜操作中最基本的要求，在进行图像观察时要时刻保持合焦和无像散的状态。

　　对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

　　消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

　　所以反映在扫描电镜图像上，改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸，拉伸方向可能因样品而不同，但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，进行消像散线圈的调节，先调X或Y中的一个维度，待图像达到清楚后再调节另一个维度。

　　有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

　　对样品进行喷金/碳处理：将样品放进喷金室，打开电源，进行抽真空处理，观察线以下时按discharge按钮进行喷金处理40s，喷金结束关闭电源。（真空压力和喷金时间咨询电镜老师）

　　点击Vent放气后缓慢打开样品室，将样品用导电胶固定在载物台上，为了能在电镜下快速准确地找到样品的像，可提前对样品进行标记，样品放好后关紧样品室的门，否则可能会影响抽真空的效果；

　　长按鼠标中键即显示指向箭头，向上拖动箭头升高样品台至10mm处， 点击屏幕右侧coordinates将Z轴锁死；（操作熟练者也可以直接输入样品坐标，新手不建议因为对位置判断不准确可能会撞坏镜头）

　　SE（二次电子）和BSE（背散射电子）是扫描电镜成像的基础信号，扫描电镜提供二次电子（SE）和背散射电子（BSE）两种模式供使用者选择，二者区别是：二次电子能量低，主要反映试样表面厚度为50~100Å的形貌特征，背散射电子比二次电子能量高，分辨率差，背散射电子的信号强度随原子序数的增大而增强，背散射电子反映试样表面50-200nm深度的试样的成分分布形貌，使用者在选择时可以根据样品特征选择最适合的拍照模式；

　　使用鼠标右键在高倍下调焦，调焦过程中先大幅度调节确定调整方向，然后微调获得最清晰的像；

　　可以通过点击Stigmator进行色散校正，Beam shift进行光束漂移校正以及调对比度和亮度获得符合要求的照片；

　　点击Image Acqusition进行拍照，低倍下看全貌，高倍下看细节，拍照时可以设置拍照时间，建议低倍下可以快速拍，高倍下拍照速度过快会影响图片质量，将照片命名好并保存在自己想要的位置；

　　解锁Z轴，将样品台调至原位，可点击Stage-home stage自动归位，也可手动拖动鼠标中键调节；

　　点击Vent放气后取样，取样后点击PUMP抽线Pa保证样品室处于真空状态。返回搜狐，查看更多